व्हॅक्यूम मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग तंत्र म्हणजे कॅथोड पृष्ठभागाच्या प्रवाहात इलेक्ट्रॉनच्या चुंबकीय क्षेत्रासह स्त्री, द्विध्रुवीय इलेक्ट्रोड पृष्ठभागाचा वापर, लक्ष्य पृष्ठभाग विद्युत क्षेत्र चुंबकीय क्षेत्राला लंब सेट करून, इलेक्ट्रॉन स्ट्रोक वाढवते, आयनीकरण दर वाढवते. वायूचे, तर उच्च-ऊर्जेचे कण वायू आणि टक्कर नंतर ऊर्जा गमावतात आणि त्यामुळे कमी थर तापमान, एक गैर-तापमान प्रतिरोधक सामग्रीवर पूर्ण लेप.